发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THIN FILM SAMPLE
摘要
申请公布号 EP1843126(B1) 申请公布日期 2009.12.09
申请号 EP20050820171 申请日期 2005.12.22
申请人 SII NANOTECHNOLOGY INC. 发明人 IKKU, YUTAKA;ASAHATA, TATSUYA;SUZUKI, HIDEKAZU
分类号 G01B15/02;G01N23/20;G01N23/225;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/66 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
主权项
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