光半导体元件和光半导体集成电路

摘要

在半导体基板上，通过把折射率和它对温度的依赖关系不同的材料进行组合，提供光半导体元件和光半导体集成电路。特别是利用具有折射率对温度的依赖关系与半导体激光器的增益区域不同的材料和/或结构的传输区域，可以控制振动波长对温度的依赖关系。此外在光波导路中，沿光波导方向形成多个界面，可以以在第一界面反射的光用在其他界面反射的光减弱的方式构成。此外通过界面配置成相对光的传播方向倾斜，也可以减少因在折射率不同的光波导路间的反射和折射造成的波导路损失。

主权项

1.一种集成光波导路，其特征在于，具有：在半导体基板上形成的第一光波导路；在所述半导体基板上形成，折射率与所述第一光波导路不同的第二光波导路；和配置在所述第一光波导路和所述第二光波导路的边界，以与所述第一光波导路隔开槽部并垂直波导方向的方式，在所述半导体基板上形成的半导体板，在所述槽部填充具有与所述第一光波导路的折射率不同的折射率的物质，所述第一光波导路和所述半导体板的折射率相同，而且所述第二光波导路和填充到所述槽部的物质的折射率相同，分别设所述槽部的折射率和宽度为N1、d1，所述半导体板的折射率和厚度为N2、d2，设波导光的波长为λ，其关系满足N1d1＞λ/2n、N2d2＞λ/2m、N1d1+N2d2＜λ/4(2l+1)其中，l、m、n为满足n+m＝l关系的整数或N1d1＜λ/2n、N2d2＜λ/2m、N1d1+N2d2＞λ/4(2l+1)其中，l、m、n为满足n+m＝l-1关系的整数。