发明名称 Immersion nozzle used in an immersion nozzle exchanging apparatus
摘要
申请公布号 EP1982780(B1) 申请公布日期 2009.12.09
申请号 EP20080008681 申请日期 2001.05.21
申请人 JP 发明人 JP;JP;JP;JP;JP
分类号 B22D11/10;B22D41/56 主分类号 B22D11/10
代理机构 代理人
主权项
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