晶片清洗机

摘要

一种晶片清洗机，机架上设有清洗筒，清洗筒底缘设有凸缘，盖体枢设于清洗筒上缘转盘安装于清洗筒内底部，马达设置于清洗筒下方，马达上缘利用螺钉与清洗筒底缘的下凸缘固定一体，马达输出轴的轴端锁定在转盘底缘，数个定位体固定在转盘的表面，数个限位柱是对称固定于转盘表面边缘，数个治具设置于转盘表面上，每个治具的设有供晶片载盘插置的插槽，每个治具顶面侧形成有槽孔，其侧面与底面分别设有测流通孔，而端面下缘对应该定位体与转盘间构成的嵌槽设有嵌体。本实用新型治具可供晶片转盘直接插接定位，并可直接嵌置定位于请系统的装盘，可免除繁琐的定位过程，具有操作方便的功效。

主权项

1、一种晶片清洗机，其特征在于，其包括：一机架；一清洗筒，是设置于机架上，其底缘设有下凸缘；一盖体，其一侧缘借助转轴枢设于清洗筒上缘，内面设置有清洗部件；一转盘，是安装于清洗筒内底部；一马达，是设置于所述清洗筒的下方，该马达的上部设有上凸缘，借助该上凸缘利用螺丝与该清洗筒底缘的下凸缘固定一体，而马达的输出轴向上穿过设置于清洗筒底部的防水套后，该输出轴的轴端锁定在所述转盘底缘，启动马达，马达通过输出轴驱动转盘旋转；数个定位体，是对称固定于前述转盘的表面，该数个定位体相向侧上缘形成有凸唇，凸唇与转盘之间构成嵌槽；数个限位柱，是对称固定于转盘表面的边缘；数个治具，是设置于转盘的表面上，该数个治具分别直接嵌置于相邻定位体间的相对应的嵌槽中，每个治具的中央设有供晶片载盘插置的插槽，顶面则形成有槽孔，侧面与底面分别设有侧流通孔与底流通孔，而端面下缘对应该定位体与转盘间构成的嵌槽设有嵌体。