发明名称
摘要
申请公布号 JP4381390(B2) 申请公布日期 2009.12.09
申请号 JP20060113413 申请日期 2006.04.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;C23C16/458;H01L21/205 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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