一种用于RH真空泄漏部位确定方法

摘要

一种用于RH真空泄漏部位确定方法，属于RH真空炉应用故障排查领域。根据真空系统尾气的质量流量和尾气中O₂、CO质量百分比浓度的不同变化确定真空系统泄漏的部位；具体方法是由下列技术参数确定泄漏部位。优点在于，缩小故障排查范围确定故障部位，提高泄漏排查效率。同时能够对事故的出现做出预判断，降低事故的发生和扩大的几率，提高RH真空炉的作业率。

主权项

1、一种用于RH真空泄漏部位确定方法，根据真空系统尾气的质量流量和尾气中O2、CO质量百分比浓度的不同变化确定真空系统泄漏的部位；具体方法是由下列技术参数确定泄漏部位：浸渍管法兰处漏气的废气曲线特征为：尾气质量流量值高，是正常值的2-4倍，尾气中的氧气含量低10％以下，CO含量高为20-30％；热顶盖与真空室连接处密封圈损坏时废气分析仪的曲线特征为：废气中O2的百分含量高达15-17％，而且尾气的质量流量是正常情况下的2-4倍；二级增压泵与冷凝器连接处漏气时废气曲线特征是：尾气的质量流量是正常值的2-3倍，废气中氧气含量15-17％，真空度自动控制时二级泵间歇性工作，一级泵甚至无法启动工作。