| 发明名称 | 300mm立式氧化炉石英舟 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟，其特征在于：设有支撑杆(1)、加强筋(2)、石英底板(3)、石英顶板(4)；所述支撑杆设有四根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，该间隔方便硅片取放；在该支撑杆上横向设有支撑硅片的支撑齿(1.1)；在支撑杆之间，横向设有加强筋；在所述石英底板的底面设有与氧化炉保温桶联结的卡齿(4.1)。本实用新型适用于立式氧化炉中支撑硅片，具有整体性强，使用方便，具有保障工艺加工效果好的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN201359440Y | 申请公布日期 | 2009.12.09 |
| 申请号 | CN200820234113.8 | 申请日期 | 2008.12.31 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 |
| 分类号 | F27D5/00(2006.01)I | 主分类号 | F27D5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1、一种300mm立式氧化炉石英舟，其特征在于：设有支撑杆(1)、加强筋(2)、石英底板(3)、石英顶板(4)；所述支撑杆设有四根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，该间隔方便硅片取放，在该支撑杆上横向设有支撑硅片的支撑齿(1.1)；在支撑杆之间，横向设有加强筋；在所述石英底板的底面设有与氧化炉保温桶联结的卡齿(4.1)。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||