感光性树脂组合物及层压体

摘要

提供一种分辨率和附着力优良、并且具有良好的抗蚀形状、耐药品性良好的可用碱性水溶液显影的感光性树脂组合物，以及使用该感光性树脂组合物的感光性树脂层压体及其使用方法。所述感光性树脂组合物，其特征在于：含有(a)20～90重量％的热塑性共聚物，其包含含α，β-不饱和羧基的单体作为共聚成分，该热塑性共聚物的酸当量为100～600，重均分子量为5千～50万，(b)5～75重量％的具有至少一个末端烯属不饱和基团的加成聚合性单体，和(c)0.01～30重量％的光聚合引发剂，并且(b)具有至少一个末端烯属不饱和基团的加成聚合性单体包含二种特定的化合物。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，以感光性树脂组合物的总重量计，含有：(a)20～90重量％的热塑性共聚物，其包含含α，β-不饱和羧基的单体作为共聚成分，该热塑性共聚物的酸当量为100～600，重均分子量为5千～50万，(b)5～75重量％的具有至少一个末端烯属不饱和基团的加成聚合性单体，和(c)0.01～30重量％的光聚合引发剂，并且(b)具有至少一个末端烯属不饱和基团的加成聚合性单体包含下述通式(I)的化合物和下述通式(II)的化合物，式中，R₁和R₂是H或CH₃，它们可以相同也可以不同；并且A和B是碳原子数为2～4的亚烷基，各自可以相同也可以不同；m1、m2、n1和n2分别独立地是0或正整数，m1、m2、n1和n2合计为2～40，式中，R₃、R₄、R₅和R₆是H或CH₃，它们可以相同也可以不同；并且，X、Y是碳原子数为2～4的亚烷基，它们彼此不同；p1、p2、p3、p4、p5、p6、p7和p8分别独立地是0或正整数，p1、p2、p3、p4、p5、p6、p7和p8合计为0～20，通式(I)所示的化合物的含量相对于感光性树脂组合物全体在2.5～72重量％的范围内，通式(II)所示的化合物的含量相对于感光性树脂组合物全体在2.5～72重量％范围内。