发明名称 |
补正板形变监测系统 |
摘要 |
一种补正板形变监测系统,其包括:一个传感元件,其固定在补正板的本体上,用于感测该补正板发生的形变并将其转化为电信号;一个处理器,该处理器预先存储有补正板形变参考值,该处理器包括:一个放大模块,其与该传感元件电性连接,用于放大该电信号;一个转换模块,用于将该电信号转换为该补正板的形变量;一个比较模块,用于将所获得的形变量与补正板形变参考值进行比较并判断;及一个报警器,与该处理器电性连接,当该比较模块判断该形变量大于该补正板形变参考值时,该报警器触发并进行报警。本发明的补正板形变监测系统可及时通知使用者更换补正板,避免了因使用不符合规格的补正板造成的镀膜不良。 |
申请公布号 |
CN101586232A |
申请公布日期 |
2009.11.25 |
申请号 |
CN200810301734.8 |
申请日期 |
2008.05.23 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
简士哲 |
分类号 |
C23C14/52(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;G01B7/16(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/52(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种补正板形变监测系统,其特征在于,其包括:一个传感元件,固定在补正板的本体上,其用于感测该补正板发生的形变并将其转化为电信号;一个处理器,该处理器预先存储有补正板形变参考值,该处理器包括:一个放大模块,其与该传感元件电性连接,用于放大该电信号;一个转换模块,用于将该电信号转换为该补正板的形变量;一个比较模块,用于将所获得的形变量与补正板形变参考值进行比较并判断;及一个报警器,与该处理器电性连接,当该比较模块判断该形变量大于该补正板形变参考值时,该报警器触发并进行报警。 |
地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |