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发明名称 Vacuum processing method
摘要
申请公布号 EP1215709(B1) 申请公布日期 2009.11.25
申请号 EP20010129553 申请日期 2001.12.11
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MURAYAMA, HITOSHI;SHIRASUNA, TOSHIYASU;NIINO, HIROAKI;AOKI, MAKOTO
分类号 C23C16/505;H01J37/32;G03G5/082;H01L21/205 主分类号 C23C16/505
代理机构 代理人
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