| 发明名称 | 微机械热电堆红外探测器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种微机械热电堆红外探测器及其制造方法。其特征在于封闭膜结构是在硅基体上由各向异性腐蚀剂腐蚀后，留下侧壁为(111)慢腐蚀面的腔体，在腔的顶部留下一层复合介质膜，在该膜上有热堆的热结区，位于红外吸收区附近，冷结区在硅基体上；悬梁支撑膜腔基本结构与此相同，仅悬梁一端固支，与硅基体相连；另外一端仅有两点与基体相连。制造工艺关键是通过采用键合技术与与硅腐蚀减薄技术相结合制作Si/SiO<sub>2</sub>/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>/Si结构，形成膜/腔结构。本发明摒弃了以往正反两面对准光刻技术，简化了工艺而且使制造出器件间距可适当减少，提高器件占空比和成品率。 | ||
| 申请公布号 | CN100562725C | 申请公布日期 | 2009.11.25 |
| 申请号 | CN03151461.8 | 申请日期 | 2003.09.29 |
| 申请人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明人 | 熊斌;王翊;王跃林 |
| 分类号 | G01J5/12(2006.01)I;H01L35/00(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)N | 主分类号 | G01J5/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 潘振甦 |
| 主权项 | 1、一种微机械热电堆红外探测器，包括复合介质膜和硅基体以及热堆的热结区和冷结区，复合介质膜和硅基体的结构为封闭膜结构或悬梁支撑膜结构；其特征在于在复合介质膜上有一层硼硅玻璃薄膜。 | ||
| 地址 | 200050上海市长宁区长宁路865号 | ||