| 发明名称 | 电极板 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一电极板。该电极板包含基板和多个材料层，其中基板具有多个基板区域，且每一材料层的电导率都不相同。在电极板的制造方法中，首先进行电场强度估测步骤。在电场强度估测步骤中，射频电源被施加在基板上，以在基板上诱发电场和等离子体。接着，进行材料层镀膜步骤。在材料层镀膜步骤中，根据每一基板区域的电场强度来在基板区域上镀上电导率不同的材料层，以使所有基板区域的电场强度相等。 | ||
| 申请公布号 | CN101587821A | 申请公布日期 | 2009.11.25 |
| 申请号 | CN200810097701.6 | 申请日期 | 2008.05.20 |
| 申请人 | 东捷科技股份有限公司 | 发明人 | 庄峻铭;简永杰 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈 红 |
| 主权项 | 1、一种电极板，其特征在于，至少包含：一导电基板，具有多个基板区域；一电源，用以在该导电基板上诱发电场；以及多个材料层，设置在所述基板区域上，其中所述材料层具有不同的电导率，以使所述多个基板区域的电场强度相等。 | ||
| 地址 | 台湾省台南县新市乡南科五路6号3楼 | ||