| 发明名称 | 晶圆直径测量装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆直径测量装置。其解决了现有对晶圆产品进行测量时，操作麻烦、不便，所得测量数据准确性差的问题。结构为：一种晶圆直径测量装置，包括底座，底座上设有晶圆放置工位和与晶圆放置工位相对应的检具夹持工位，其特征在于，所述的晶圆放置工位为一根直立的顶杆，顶杆的端部为水平面并与所述检具夹持工位的高度相应。 | ||
| 申请公布号 | CN201352105Y | 申请公布日期 | 2009.11.25 |
| 申请号 | CN200920300318.6 | 申请日期 | 2009.01.20 |
| 申请人 | 浙江水晶光电科技股份有限公司 | 发明人 | 王江;刘瑞 |
| 分类号 | G01B5/08(2006.01)I | 主分类号 | G01B5/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 尉伟敏 |
| 主权项 | 1.一种晶圆直径测量装置，包括底座，底座上设有晶圆放置工位和与晶圆放置工位相对应的检具夹持工位，其特征在于，所述的晶圆放置工位为一根直立的顶杆(4)，顶杆(4)的端部为水平面并与所述检具夹持工位的高度相应。 | ||
| 地址 | 318015浙江省台州市椒江区星星电子产业园区A5号楼水晶光电科技 | ||