| 发明名称 | 平板显示用刻蚀液 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种平板显示用刻蚀液。该刻蚀液包括草酸、三氟甲基苯磺酸和水。草酸的使用量为刻蚀液总重的1～10％，三氟甲基苯磺酸的使用量为刻蚀液总重的0.5～5％，余量为水。本发明提供了一种高效、高刻蚀精度、无刺激气味的平板显示用刻蚀液。该刻蚀液是用来刻蚀ITO透明导电膜的，所选用的草酸和三氟甲基苯磺酸均为有机酸。由这两类有机酸组成的混合物不易挥发、浸润性好，当用于ITO导电膜刻蚀液时，该刻蚀液组成物具有刻蚀性能好、无残渣、环境污染小等特点。 | ||
| 申请公布号 | CN101585662A | 申请公布日期 | 2009.11.25 |
| 申请号 | CN200910083934.5 | 申请日期 | 2009.05.11 |
| 申请人 | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 | 发明人 | 冯卫文 |
| 分类号 | C03C15/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 关 畅;任凤华 |
| 主权项 | 1、平板显示用刻蚀液，包括草酸、三氟甲基苯磺酸和水。 | ||
| 地址 | 621000四川省绵阳市经开区机电工业园一期7号标准厂房 | ||