用于检查或校准高精度试件的角相关对准的设备

摘要

本发明涉及一种用于检查或校准高精度试件(1)上的基准结构的角相关对准的设备。该设备包括：底座(2)；保持件(3)，其安装成可围绕保持件轴线(4)转动，用于保持试件(1)；和测量件(5)，具有测量件轴承单元(6)，用于围绕测量件轴线(7)可转动地安装测量件(5)。光学单元(8)安装在测量件(5)上，用于接收至少一个试件光束(10、10a、10b、10c、10d)，该试件光束与试件(1)上的基准结构交互作用并主要在测量平面(11)中行进。测量件轴承单元(6)设置在测量平面(11)的一侧或设在测量平面(11)内。测量件(5)包括大部分关于测量件轴线(7)轴向对称并包围或围绕测量件轴线(7)与保持件轴线(4)在测量平面(11)上的交点、从而也包围或围绕试件(1)的基本形状。

主权项

1.一种用于检查或校准高精度试件(1)的基准结构的角相关对准的设备，包括：·底座(2、2a、2b)，·保持部分(3)，用于保持所述高精度试件(1)，该保持部分(3)安装成能够相对于所述底座(2、2a、2b)围绕保持部分轴线(4)转动，并且能够测量该保持部分相对于所述底座(2、2a、2b)围绕所述保持部分轴线(4)的转动角，·测量部分(5、5a、5b、5c、5d)，其具有测量部分轴承单元(6、6a)，该轴承单元(6、6a)用于将所述测量部分(5、5a、5b、5c、5d)安装成能够相对于所述底座(2、2a、2b)围绕与所述保持部分轴线(4)成直角相交的测量部分轴线(7)转动，并且能够测量所述测量部分(5、5a、5b、5c、5d)相对于所述底座(2、2a、2b)围绕所述测量部分轴线(7)的转动角，·光学单元(8、8a、8b、8c)，其具有光学检测器(9)并设在所述测量部分(5、5a、5b、5c、5d)上，使得能够检测与所述高精度试件(1)的基准结构相互作用的至少一个试件光束(10、10a、10b、10c、10d)，该光束大致在一测量平面中行进，所述测量部分轴线(7)垂直通过所述测量平面且所述保持部分轴线(4)位于该测量平面内，并且该测量平面与所述测量部分(5、5a、5b、5c、5d)的一部分相交，该光束在所述光学检测器(9)上产生至少一个点(12)，以及·控制/管理单元(13)，其以这样的方式形成和连接，即，能够根据所述光学检测器(9)上的所述至少一个点(12)的位置，通过所述保持部分(3)和所述测量部分(5、5a、5b、5c、5d)的电机动力调整使所述光学单元(8、8a、8b、8c)相对于所述高精度试件(1)的基准结构借助电机自动准直，并且能够自动测定保持部分的转动角和测量部分的转动角，所述设备的特征在于：·所述测量部分轴承单元(6、6a)设在所述测量平面(11)的单侧上或设在所述测量平面(11)中，并且·所述测量部分(5、5a、5b、5c、5d)具有包围或环绕在所述测量平面(11)上的所述测量部分轴线(7)与保持部分轴线(4)的交点、从而包围所述高精度试件(1)的基本形状，并且其基本部分关于所述测量部分轴线(7)轴向对称。