首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 RINGFÖRMIGE HOCHDICHTE PLASMAQUELLE UND VERFAHREN
摘要
申请公布号 DE60138626(D1) 申请公布日期 2009.06.18
申请号 DE20016038626 申请日期 2001.07.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 BRCKA, JOZEF
分类号 C23C16/505;H05H1/46;C23C14/34;C23C16/509;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 C23C16/505
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com