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发明名称 Rasterelektronenmikroskop
摘要
申请公布号 DE69334284(D1) 申请公布日期 2009.06.18
申请号 DE19936034284 申请日期 1993.03.15
申请人 HITACHI LTD. 发明人 TODOKORO, HIDEO;OHTAKA, TADASHI
分类号 H01J37/073;H01J37/28;H01J37/244 主分类号 H01J37/073
代理机构 代理人
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