发明名称 Bolometer und Verfahren zum Herstellen eines Bolometers
摘要
申请公布号 DE112006004013(A5) 申请公布日期 2009.06.18
申请号 DE200611004013T 申请日期 2006.09.08
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 VOGT, HOLGER;RUSS, MARCO
分类号 G01J5/20;H01L27/146 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
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