顶部发光有机显示器的阳极结构及其制造工艺

摘要

一种顶部发光有机显示器的阳极结构及其制造工艺，涉及一种顶部发光的有机电发光器件，尤其是一种应用于顶部发光有机显示器中的低电阻率阳极结构及其制造工艺。本发明的顶部发光有机显示器的阳极结构，是在硅衬底层上镀膜形成电极，其特征在于硅衬底层上镀的膜为四层膜，所述的四层膜从硅衬底层向上分别是高纯铬膜层、高纯铝膜层、高纯铬膜层和高纯钼膜层。采用除射频溅镀法外的PVD法，包括对硅衬底层进行预热处理、金属镀膜过程。新型的阳极结构具有高导电率、易镀、经济以及较低的光吸收系数和较高的反光系数使得这种新颖的阳极结构的OLED发光效率增加了30％，其性能比现有的阳极结构更优越。

主权项

1、一种顶部发光有机显示器的阳极结构，是在硅衬底层(1)上镀膜形成电极，其特征在于硅衬底层(1)上镀的膜为四层膜，所述的四层膜从硅衬底层(1)向上分别是高纯铬膜层(2)、高纯铝膜层(3)、高纯铬膜层(4)和高纯钼膜层(5)。