| 发明名称 | 可靠性测试的方法和装置 | ||
| 摘要 | 一种可靠性测试的方法和装置，所述方法包括：同时对所有被测器件施加应力条件；在解除对前一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据后，解除对后一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据，其中，第一被解除应力条件的被测器件的应力条件解除时间为预定的应力作用时间点。所述方法是被测器件在被解除应力条件后，性能参数的退化没有恢复前就被测量，因此，可以得到更准确的测量结果。 | ||
| 申请公布号 | CN101458285A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200710094529.4 | 申请日期 | 2007.12.13 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 廖淼 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 丽 |
| 主权项 | 1. 一种可靠性测试的方法，其特征在于，包括下述步骤：同时对所有被测器件施加应力条件；在解除对前一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据后，解除对后一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据，其中，第一被解除应力条件的被测器件的应力条件解除时间为预定的应力作用时间点。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||