| 发明名称 | 基板检查及修正装置、以及基板评估系统 | ||
| 摘要 | 一种基板检查及修正装置，包括：检查部，对形成着TFT阵列的基板进行缺陷检查；以及修正部，对缺陷阵列进行修正；且，利用检查部和修正部在同一腔室内对基板进行缺陷检查与缺陷修正。由此，使基板的移动的相关步骤简化，另外，使装置与系统服务器之间所进行的数据的发送接收步骤简化。更详细而言，由第一检查部来输出缺陷部位的像素坐标数据、和缺陷部位的缺陷类型的缺陷类型数据，由修正部根据第一检查部检测出的缺陷部位的像素坐标数据、和已确认的缺陷类型的缺陷类型数据，来对所述缺陷部位进行修正。第二检查部对基板的像素单位的TFT阵列的驱动状态进行检查，并输出TFT阵列的驱动状态数据，且对修正后的状态进行重新检查。 | ||
| 申请公布号 | CN101461063A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200680054826.X | 申请日期 | 2006.08.01 |
| 申请人 | 株式会社岛津制作所 | 发明人 | 中谷敦夫;筱原真;黑田晋一;今井大辅 |
| 分类号 | H01L27/12(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G01N23/225(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;G09F9/00(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿 宁 |
| 主权项 | 1、一种基板检查及修正装置，其特征在于包括：检查部，对形成着TFT阵列的基板进行缺陷检查，以及修正部，对缺陷阵列进行修正；且所述检查部和所述修正部，在同一腔室内对基板进行缺陷检查和缺陷修正。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||