| 发明名称 | 台装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种通过提高基台的刚性、能够不降低生产能力而在基台上正确地处理基板的台装置。台装置(1)具备基台(10)、在基台(10)上可移动地设置的台架部(30)、和支撑基台(10)的除振单元(50)。基台(10)具有将罐部件以框状连结而构建的上部框架(12)、将罐部件以框状连结而构建、与上部框架(12)上下离开而设置的下部框架(22)、和将上部框架(12)与下部框架(22)连结的连结部件(18)。 | ||
| 申请公布号 | CN101459103A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200810087089.4 | 申请日期 | 2008.04.11 |
| 申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 吉田达矢;中森靖仁 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;B23Q1/25(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 徐殿军 |
| 主权项 | 1、一种台装置，具备基台、在上述基台上能够沿一轴向移动地设置的台架、和支撑上述基台的除振单元，其特征在于，上述基台具有：上部框架，将罐部件以框状连结而构建；下部框架，将罐部件以框状连结而构建，与上述上部框架上下离开而设置；以及连结部件，将上述上部框架和上述下部框架连结。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||