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发明名称 Method of Making a Semiconductor Device
摘要
申请公布号 GB1188694(A) 申请公布日期 1970.04.22
申请号 GB19670051236 申请日期 1967.11.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人
分类号 C23C18/36;H01L21/288 主分类号 C23C18/36
代理机构 代理人
主权项
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