可同时生产三根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构

摘要

一种可同时生产三根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构，涉及高频线圈技术领域；所述的高频线圈结构包括用于电流(16)导流的分流槽(15)，三个内孔(8)呈三角形排列在高频线圈(3)的中部，在电流输送暨冷却水输送铜管A(11)及电流输送暨冷却水输送铜管B(12)一侧的斜开口(13)穿过两个内孔(8)连接至较远的内孔(8)，所述的连接斜开口(13)的内孔(8)两侧上部设有分流槽(15)；本发明可使电流运行时在分流槽及圆孔的作用下均匀围绕三个内孔运行，并且分流槽辅助电流更均匀的分布在三个内孔周围，实现了电流在三个内孔周围均匀分布的目的。

主权项

1、一种可同时生产三根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构，所述的高频线圈结构在高频线圈的下部设置有电流输送暨冷却水输送铜管A(11)及电流输送暨冷却水输送铜管B(12)，高频线圈的高频线圈上面(9)呈向中心位置内陷的斜面，高频线圈的高频线圈下面设有向中心位置内陷的梯形，冷却水道(4)环埋在高频线圈(3)的外部；其特征在于：所述的高频线圈结构包括用于电流(16)导流的分流槽(15)，三个内孔(8)呈三角形排列在高频线圈(3)的中部，在电流输送暨冷却水输送铜管A(11)及电流输送暨冷却水输送铜管B(12)一侧的斜开口(13)穿过两个内孔(8)连接至较远的内孔(8)，所述的连接斜开口(13)的内孔(8)两侧上部设有分流槽(15)。