| 发明名称 | 冷压溅射靶 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种包含溅射材料的溅射靶，所述溅射材料由合金或材料混合物制成，该合金或材料混合物由至少两种处于热力学不平衡状态的组分构成。根据本发明，所述组分是通过等静压冷压法或单轴冷压法来压缩的。 | ||
| 申请公布号 | CN101460650A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200780020115.5 | 申请日期 | 2007.05.30 |
| 申请人 | W.C.贺利氏有限公司 | 发明人 | 马库斯·舒尔特海斯;马丁·魏格特 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁业平;张天舒 |
| 主权项 | 1. 一种溅射靶，该溅射靶包含含有合金或材料混合物的溅射材料，该合金或材料混合物由至少两种组分形成，其中所述两种组分以热力学不平衡状态存在，所述溅射靶的特征在于，所述组分是通过等静压冷压法或单轴冷压法来压缩的。 | ||
| 地址 | 德国哈瑙市 | ||