激光脉冲发生装置和方法以及激光加工装置和方法

摘要

本发明提供一种稳定的激光加工装置，使固体激光器的脉冲输出稳定地照射加工对象物从而进行微细加工。该激光加工装置包括用于对设置于激光共振器内的Q开关元件(6)和激光介质(5)进行预先光激励的激励用激光振荡器(46)，和将激光介质内的高位能级的激励密度以非共振目的波长的激光波长照射预定时间从而降低高位能级密度和去激励的激光共振器(41)。在激光共振器内去激励后，将Q开关元件(6)设为激光共振阻断(关闭)状态，进行高位能级的光激励以使激光介质能量蓄积预定的时间。接着，将Q开关(6)切换为激光振荡(ON)状态，通过振荡输出Q开关脉冲，与Q开关脉冲振荡间隔无关地在每个脉冲中平均地将Q开关脉冲输出导入到加工对象物来进行精密加工。

主权项

1. 一种激光脉冲发生装置，其特征在于，所述装置包括：激光介质，激光共振器，通过控制所述激光共振器的Q值对激光振荡进行抑制的Q开关元件，以及所述激光介质的去激励源；使所述去激励源操作第一预定时间以从激光介质释放蓄积能量的单元；通过向Q开关元件施加激光振荡抑制信号第二预定时间以在所述激光介质中蓄积预定能量的单元；和停止向所述Q开关元件发出激光振荡抑制信号以得到Q开关激光脉冲振荡输出的单元。