发明名称 |
通过闭合环路方法生产硅 |
摘要 |
本发明的生产硅的方法包括:将气态三氯硅烷与氢反应以在基体上沉积硅并产生四氯化硅副产物,使该四氯化硅副产物气化以形成气态四氯化硅,将该气态四氯化硅转化为细粒硅,通过熔融该细粒硅而形成硅熔体,以及从该硅熔体形成固体硅。 |
申请公布号 |
CN101460398A |
申请公布日期 |
2009.06.17 |
申请号 |
CN200780020540.4 |
申请日期 |
2007.04.13 |
申请人 |
卡伯特公司 |
发明人 |
亚科夫·E·库特索夫斯基;谢尔登·B·戴维斯 |
分类号 |
C01B33/035(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/035(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
宋 莉 |
主权项 |
1. 一种生产硅的方法,包括:(a)提供气态三氯硅烷,(b)在基体的存在下、在引起硅在该基体上的沉积并产生四氯化硅副产物的温度下,使该气态三氯硅烷与氢反应,(c)使该四氯化硅副产物气化以形成气态四氯化硅,(d)将该气态四氯化硅转化为具有约200nm或者更小的平均初级粒径和约500μm或者更大的平均团聚体尺寸的细粒硅,(e)通过熔融该细粒硅而形成硅熔体,和(f)从该硅熔体形成固体硅。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |