发明名称 通过闭合环路方法生产硅
摘要 本发明的生产硅的方法包括:将气态三氯硅烷与氢反应以在基体上沉积硅并产生四氯化硅副产物,使该四氯化硅副产物气化以形成气态四氯化硅,将该气态四氯化硅转化为细粒硅,通过熔融该细粒硅而形成硅熔体,以及从该硅熔体形成固体硅。
申请公布号 CN101460398A 申请公布日期 2009.06.17
申请号 CN200780020540.4 申请日期 2007.04.13
申请人 卡伯特公司 发明人 亚科夫·E·库特索夫斯基;谢尔登·B·戴维斯
分类号 C01B33/035(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C01B33/035(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 宋 莉
主权项 1. 一种生产硅的方法,包括:(a)提供气态三氯硅烷,(b)在基体的存在下、在引起硅在该基体上的沉积并产生四氯化硅副产物的温度下,使该气态三氯硅烷与氢反应,(c)使该四氯化硅副产物气化以形成气态四氯化硅,(d)将该气态四氯化硅转化为具有约200nm或者更小的平均初级粒径和约500μm或者更大的平均团聚体尺寸的细粒硅,(e)通过熔融该细粒硅而形成硅熔体,和(f)从该硅熔体形成固体硅。
地址 美国马萨诸塞州
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