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发明名称 Method for calibrating a lithographic projection apparatus
摘要
申请公布号 EP1186959(B1) 申请公布日期 2009.06.17
申请号 EP20010307458 申请日期 2001.09.03
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 KWAN, YIM BUN PATRICK;LEVASIER, LEON MARTIN
分类号 G03F9/00;G03F7/20 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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