发明名称 | 基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法 | ||
摘要 | 一种基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法,用输入波导、输出输入波导、平板波导和输出平板波导、阵列波导共同沉积在硅衬底上的AWG芯片上制作AAWG;将AWG芯片与输入光纤阵列和输出光纤阵列进行耦合、调试和固化,测试性能参数a1;将固化后的AWG芯片分割为AAWG的第一区域和第二区域,并测试分割造成的波导长度的损失L;将第二区域与第二基板粘接固定在一起,放置在固定夹具上;利用6维微调架夹具将AAWG的第一区域与第一基板固定,将补偿杆放置在第一区域和第一基板上,固化补偿杆;利用有第一区域和第一基板的6维微调架夹具,相对有第二区域与第二基板的固定夹具进行AAWG的第二次耦合调试,并测试性能参数a2,a3,a4;并将第一基板和第二基板固化。 | ||
申请公布号 | CN101458364A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
申请号 | CN200810154692.X | 申请日期 | 2008.12.30 |
申请人 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 发明人 | 赵秀丽;马卫东;丁丽;祝业盛;周天红 |
分类号 | G02B6/34(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/34(2006.01)I |
代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人 | 江镇华 |
主权项 | 1. 一种基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法,其特征在于,包括如下制作步骤:(1)采用至少一个输入波导(1)、N个输出波导(5)、输入平板波导(2)和输出平板波导(4)、以及阵列波导(3)组成共同沉积在硅衬底上的AWG芯片(6)制作AAWG;将AWG芯片(6)与输入光纤阵列(12)和输出光纤阵列(13)进行耦合、调试和固化,测试性能参数a1,称为AAWG的第一次耦合调试固化;(2)将固化后的AWG芯片(6)分割为AAWG的第一区域(6a)和第二区域(6b)两部分,并测试分割造成的波导长度的损失L;(3)将AAWG的第二区域(6b)与第二基板(7b)粘接固定在一起,放置在固定夹具(15)上;(4)利用6维微调架夹具(14)将AAWG的第一区域(6a)与第一基板(7a)固定,将补偿杆(8)放置在第一区域(6a)和第一基板(7a)上,利用紫外胶或者热固化胶固化补偿杆,准备第二次耦合调试;(5)利用放置有固定的第一区域(6a)和第一基板(7a)的6维微调架夹具(14),相对于放置有粘接固化在一起的第二区域(6b)与第二基板(7b)的固定夹具(15)进行AAWG的第二次耦合调试,并测试性能参数a2,a3,a4;(6)当性能参数满足要求,将第一基板(7a)和第二基板(7b)固化,为AAWG第二次耦合固化;(7)将制作的AAWG从夹具上取下,制作完成。 | ||
地址 | 430074湖北省武汉市洪山区邮科院路88号 |