发明名称
摘要
申请公布号 JP4280006(B2) 申请公布日期 2009.06.17
申请号 JP20010258248 申请日期 2001.08.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/768;H01L21/8246;H01L27/105 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址