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发明名称
摘要
申请公布号
JP4280006(B2)
申请公布日期
2009.06.17
申请号
JP20010258248
申请日期
2001.08.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/768;H01L21/8246;H01L27/105
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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