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Ein Halbleiterkörper (10) umfasst einen ersten Bereich (11) mit einer Anzahl von Ausnehmungen (17, 20, 23), die sich von einer ersten Hauptfläche (13) des Halbleiterkörpers (10) in ein Substrat (31) des Halbleiterkörrpers (10) erstrecken. Weiter umfasst der Halbleiterkörper (10) einen zweiten Bereich (12), der in der ersten Hauptfläche (13) von dem ersten Bereich (11) umschlossen ist. |
