发明名称 Optical Measuring Instrument and Method of Optical Measurement of Film Thickness
摘要
申请公布号 GB1193696(A) 申请公布日期 1970.06.03
申请号 GB19670046490 申请日期 1967.10.11
申请人 LEYBOLD-HERAEVS VERWALTUNG G.M.B.H. 发明人
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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