Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung bandförmigen Substrates in einer Vakuumbeschichtungsanlage,申请号DE200811000016T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung bandförmigen Substrates in einer Vakuumbeschichtungsanlage
摘要
申请公布号	DE112008000016(A5)	申请公布日期	2009.03.19
申请号	DE200811000016T	申请日期	2008.02.28
申请人	VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH	发明人	GOTTSMANN, LUTZ;LAIMER, GEORG;JAEGER, REINHARD
分类号	C23C14/56;C23C16/54;F16J15/16	主分类号	C23C14/56
代理机构		代理人
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