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<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung oder Beschichtung von Oberflächen mittels Plasma. Dabei wird in mindestens einen räumlich getrennten Reaktionsraum ein Trägergas zugeführt und mit dem erzeugten Plasmastrahl durchmischt, so dass das Trägergas aktiviert oder ein Partikelstrahl erzeugt wird, der unabhängig von der Plasmaströmung auf die Oberfläche eines zu behandelnden oder zu beschichtenden Werkstückes auftrifft.</p> |
