| 发明名称 |
SUBSTRATE CLEANING METHOD, SUBSTRATE CLEANING EQUIPMENT, COMPUTER PROGRAM AND PROGRAM RECORDING MEDIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1739730(A4) |
申请公布日期 |
2009.03.18 |
| 申请号 |
EP20050734750 |
申请日期 |
2005.04.19 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
OHNO, HIROKI;SEKIGUCHI, KENJI |
| 分类号 |
H01L21/00;B08B3/02;B08B5/02;G02F1/13;G02F1/1333;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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