保管库、搬运系统以及保管库组

摘要

一种保管库，例如在暂时保管FOUP等货品的堆料机等保管库中，收容了用于制造半导体元件的各种基板的FOUP，可通过简单的结构有效地对货品进行出入库，或有效地进行保管库内搬运。保管库(10)包括：支撑部(11)，能够支撑货品(3)；水平驱动部(13)，能够使支撑部沿水平一侧方向往复移动；铅直驱动部(14)，能够使支撑部沿铅直方向往复移动；以及多个货架(15)，其具有载置面，在能通过铅直驱动部使支撑部到达的铅直方向上的多个阶段，在能通过水平驱动部到达的水平位置上各设置一个或两个以上的货架，并且分别构成为能在货架与支撑部之间相互输送货品。多个载置面中至少一个作为货品的出入库用库口而发挥作用。

主权项

1. 一种保管库，其特征在于，包括：支撑部，能够支撑货品；水平驱动部，能够使所述支撑部沿水平一侧方向往复移动；铅直驱动部，能够使所述支撑部沿铅直方向往复移动；以及多个货架，其具有载置面，在能通过所述铅直驱动部使所述支撑部到达的所述铅直方向上的多个阶段，在能通过所述水平驱动部到达的水平位置上各设置一个或两个以上的货架，并且分别构成为能在所述货架与所述支撑部之间相互输送货品；所述多个载置面中至少一个作为所述货品的出入库用库口发挥作用。