使用旋转光学元件的高速高效率光学图案生成器

摘要

本发明涉及一种光学图案发生器，其包括一个或更多个多面旋转光学元件，所述光学元件引入对旋转不敏感的偏移。生成偏移的部件围绕光学元件的旋转轴旋转对称。因而随着光学元件旋转，偏移部件的效果不变。此外，可以将旋转光学元件设计为彼此抵消不希望的光学效果。

主权项

1. 一种用于生成多个图的光学图案生成器，该图案生成器包括：第一多面旋转光学元件，其具有第一旋转轴和围绕第一旋转轴旋转的多个不同折射面，其中多个面的每一个包括相应的偏移部件，所述偏移部件沿着偏移方向偏移入射光束，其中所述偏移方向总体上与光学元件的径向方向对准，以及第二多面旋转光学元件，其具有第二旋转轴和围绕第二旋转轴旋转的多个不同折射面，第二光学元件位于第一光学元件的下游，其中第一光学元件上的每个面都具有在第二光学元件上的对应的面，以及对应的面同步旋转通过光束，并且随着对应的面旋转通过光束，使光束从所述多个图中生成一个图。