硅片清洗定位装置

摘要

硅片清洗定位装置，具有一工作平面，其上设有一防震垫，和一接纳组件，它由两根支撑杆、两根升降杆，两根定位轴、两付夹件和四只工件座构成；支撑杆和升降杆对称状、竖直向设在防震垫四侧的工作平面上，两根定位轴分别搁置在支撑杆上，两付夹件分别搁置在升降杆上；所述支撑杆两端搭接在左右夹件上，由夹件上的定位件作松紧式固定；四只工件座以每二只为一作业单元，呈相向设置，每只工件座上具有所述整体件的接纳槽，紧固件和提柄。本发明在单晶锭被切割后，以两只工件座为一作业单元，即可接纳所述从工件夹具卸下的整体件，然后，方便地将整体件依次移至清洗槽、脱胶槽进行清洗、脱胶作业，并确保硅片在此过程中不受损伤，有利于提高成品率。

主权项

1、一种硅片清洗定位装置，其特征是：它具有：一工作平面，由支架(40)支撑而成，工作平面上设有一块水平状的防震垫(60)；一接纳组件，由两根支撑杆(206)、两根升降杆(203)，两根定位轴(205)、两付夹件(20)和四只工件座(10)构成；支撑杆(206)和升降杆(203)对称状、竖直向设在防震垫(60)四侧的工作平面上，两根定位轴(205)分别搁置在支撑杆(206)上，两付夹件(20)分别搁置在升降杆(203)上；所述支撑杆(206)两端搭接在左右夹件(20)上，由夹件(20)上的定位件作松紧式固定；四只工件座(10)以每二只为一作业单元，呈相向设置，每只工件座(10)上具有所述整体件的接纳槽，紧固件和提柄。