特征光谱识别芯片、其制造方法及使用该芯片的检测装置

摘要

本发明公开了一种用于特征光谱识别的半导体芯片及其制造方法，以及利用该芯片对吸收光谱、荧光光谱进行测量的特征光谱识别装置和生物芯片扫描装置。根据本发明的特征光谱识别芯片包括阵列式半导体光学传感器，传感器阵列结构中包括至少一个检测像素和至少一个参考像素；该芯片还包括至少一个光学滤光片，每个检测像素的表面被对应的光学滤光片覆盖。每个光学滤光片具有特征波长，使得以特征波长为中心的预定宽度范围内的波长能够经过光学滤光片透射，而这个范围之外的波长不能透射。根据本发明，可以利用半导体工艺以低成本制造特征光谱识别芯片，并可以方便地制作体积小、成本低的吸收光谱测量仪和荧光光谱测量仪以及生物微阵列芯片。

主权项

1.一种特征光谱识别芯片，其特征在于：所述特征光谱识别芯片包括阵列式半导体光学传感器，所述半导体光学传感器的阵列式结构中包括至少一个检测像素和至少一个参考像素，所述特征光谱识别芯片还包括至少一个光学滤光片，每个所述检测像素的表面被对应的光学滤光片覆盖，每个所述光学滤光片具有特征波长，使得以所述特征波长为中心的预定宽度范围内的波长能够经过所述光学滤光片透射，而所述范围之外的波长不能透射。