| 发明名称 | 用于电化学机械抛光的导电抛光部件 | ||
| 摘要 | 提供了一种球体组件的实施例。在一个实施例中，球体组件包括外壳、球体、导电适配器和接触元件。外壳具有延伸进内部通道第一端中的环形座。导电适配器耦合于外壳的第二端。接触元件电耦合适配器和保持在位于座和适配器之间的外壳中的球体。 | ||
| 申请公布号 | CN100466188C | 申请公布日期 | 2009.03.04 |
| 申请号 | CN03149707.1 | 申请日期 | 2003.08.04 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | P·D·巴特菲尔德;L－Y·陈;Y·胡;A·P·曼那斯;R·马伍利乌;S·D·蔡;F·Q·刘;R·威登斯维勒 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01);B24B37/04(2006.01) | 主分类号 | H01L21/304(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵蓉民;彭益群 |
| 主权项 | 1.一种用于电化学处理的球体组件(1900)，包括：具有内部通道(1968)的外壳(1902)；在外壳的第一端紧邻所述外壳中的一个孔且延伸进内部通道的环形座(1926)；导电球体(1906)，其设置在外壳中并由座阻止其脱离所述孔；耦合于外壳第二端的导电适配器(1904)；和电耦合适配器和导电球体的接触元件(1914)，其包括环形基座(1942)，所述环形基座(1942)具有从所述基座延伸的多个弯曲部。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||