发明名称 |
一种多级干式真空泵的清洗装置 |
摘要 |
本实用新型涉及真空泵清洗技术,具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置,包括减压阀、质量流量控制器、电磁阀及气体管路,减压阀的一端与气体输入端相连,另一端连接有质量流量控制器;气体管路分为封闭独立的第一部分及第二部分,质量流量控制器的输出端分为两路、分别与气体管路的第一、二部分相连接;质量流量控制器与气体管路连接的每一路均设有电磁阀;气体管路中的第一部分与干式真空泵的一级腔体相连接,第二部分分别与干式真空泵的二~五腔体连接。本实用新型对每一级腔体均起到了清洗作用,清洗彻底,具有控制简单、准确,真空度高等优点。 |
申请公布号 |
CN201200981Y |
申请公布日期 |
2009.03.04 |
申请号 |
CN200820013365.8 |
申请日期 |
2008.06.06 |
申请人 |
中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
发明人 |
王光玉;秦佰林;房伟;刘在行 |
分类号 |
B08B5/00(2006.01);B08B5/02(2006.01) |
主分类号 |
B08B5/00(2006.01) |
代理机构 |
沈阳科苑专利商标代理有限公司 |
代理人 |
许宗富;周秀梅 |
主权项 |
1.一种多级干式真空泵的清洗装置,其特征在于:包括减压阀(1)、质量流量控制器(2)、电磁阀及气体管路(4),减压阀(1)的一端与气体输入端相连,另一端连接有质量流量控制器(2);气体管路(4)分为封闭独立的第一部分(10)及第二部分(11),质量流量控制器(2)的输出端分为两路、分别与气体管路(4)的第一、二部分(10、11)相连接;质量流量控制器(2)与气体管路(4)连接的每一路均设有电磁阀;气体管路(4)中的第一部分(10)与干式真空泵的一级腔体(A)相连接,第二部分(11)分别与干式真空泵的二~五腔体(B~E)连接。 |
地址 |
110168辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号 |