发明名称 小片接合用粘接带的贴附方法和电子元件的安装方法
摘要 一种小片接合用粘接带的贴附方法,首先,基板(1)上的规定位置(2)由摄像机构(14)进行识别,接着用保持机构(13)对包含粘接薄膜(10)的单片(12)进行保持,然后,根据规定位置(2)的识别结果,使保持机构(13)移动并将粘接薄膜(10)贴附在规定位置(2)上。保持机构(13)和摄像机构(14)可互相独立移动,因此,可同时进行识别规定位置(2)的步骤和保持单片(12)的步骤。
申请公布号 CN100466211C 申请公布日期 2009.03.04
申请号 CN200580000867.6 申请日期 2005.02.23
申请人 涩谷工业株式会社 发明人 森泽匡史;新田一法;荫山秀生;东秀和
分类号 H01L21/52(2006.01);H01L21/68(2006.01) 主分类号 H01L21/52(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 方晓虹
主权项 1.一种小片接合用粘接带的贴附方法,其特征在于,包含:用摄像机构(14)识别基板(1)上的规定位置(2)的步骤;用保持机构(13)对粘接薄膜(10)进行保持的步骤,其中粘接薄膜(10)的两个主表面具有粘接性;以及根据对所述规定位置(2)的识别结果而使所述保持机构(13)移动、以将所述粘接薄膜(10)贴附在所述规定位置(2)上的步骤,所述保持机构(13)和摄像机构(14)可互相独立移动,同时进行所述识别步骤和所述保持步骤。
地址 日本石川县