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经营范围
发明名称
CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE SYSTEM
摘要
申请公布号
EP1943660(B1)
申请公布日期
2009.03.04
申请号
EP20050801831
申请日期
2005.10.28
申请人
CARL ZEISS SMS GMBH
发明人
PLATZGUMMER, ELMAR;KNIPPELMEYER, RAINER
分类号
H01J37/04;H01J37/317
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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