发明名称 Stiffened surface micromachined structures and process for fabricating the same
摘要
申请公布号 AU2002343537(A8) 申请公布日期 2009.01.29
申请号 AU20020343537 申请日期 2002.10.21
申请人 MONTANA STATE UNIVERSITY-BOZEMAN 发明人 DAVID L. DICKENSHEETS;PHILIP A. HIMMER;ROBERT A. FRIHOLM;JEFFREY LUTZENBERGER;TODD J. KAISER
分类号 B81B3/00;G02B26/08;B81C1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址