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发明名称
Stiffened surface micromachined structures and process for fabricating the same
摘要
申请公布号
AU2002343537(A8)
申请公布日期
2009.01.29
申请号
AU20020343537
申请日期
2002.10.21
申请人
MONTANA STATE UNIVERSITY-BOZEMAN
发明人
DAVID L. DICKENSHEETS;PHILIP A. HIMMER;ROBERT A. FRIHOLM;JEFFREY LUTZENBERGER;TODD J. KAISER
分类号
B81B3/00;G02B26/08;B81C1/00
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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