发明名称 KERBENFREIES ÄTZEN VON SOI-STRUKTUREN MIT HOHEM SEULTIPLEXTEN PROZESSES UND HF-VORMODULATION
摘要
申请公布号 DE602004018531(D1) 申请公布日期 2009.01.29
申请号 DE200460018531T 申请日期 2004.10.19
申请人 UNAXIS USA INC. 发明人 SRINIVASAN, SUNIL;JOHNSON, DAVID;WESTERMAN, RUSSELL
分类号 H01L21/3065;H01L21/762 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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