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发明名称
KERBENFREIES ÄTZEN VON SOI-STRUKTUREN MIT HOHEM SEULTIPLEXTEN PROZESSES UND HF-VORMODULATION
摘要
申请公布号
DE602004018531(D1)
申请公布日期
2009.01.29
申请号
DE200460018531T
申请日期
2004.10.19
申请人
UNAXIS USA INC.
发明人
SRINIVASAN, SUNIL;JOHNSON, DAVID;WESTERMAN, RUSSELL
分类号
H01L21/3065;H01L21/762
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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