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Ein Projektionsobjektiv (14) zur Abbildung eines Objektfeldes in einer Objektebene (5) in ein Bildfeld in einer Bildebene (13) dient zur Abbildung eines für Abbildungsstrahlung (3) reflektiven Objekts (12) mit einer abzubildenden Struktur, die im Objektfeld angeordnet ist. Das Projektionsobjektiv hat einen Spiegel für streifenden Einfall (17), der das erste bündelführende Element des Projektionsobjektivs (14) ist, welches der Objektebene (5) im Abbildungsstrahlengang des Projektionsobjektivs (14) nachgeordnet ist. Ferner hat das Projektionsobjektiv (14) mindestens einen Spiegel für steilen Einfall (M1 bis M6).
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