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发明名称
Verfahren zur Erzeugung eines Dielektrikums und Halbleiterstruktur
摘要
申请公布号
DE102004031453(B4)
申请公布日期
2009.01.29
申请号
DE200410031453
申请日期
2004.06.29
申请人
QIMONDA AG
发明人
BIRNER, ALBERT;WEBER, ANDREAS;SCHLOESSER, TILL;LUETZEN, JOERN
分类号
H01L21/314;H01L21/324;H01L21/336;H01L21/8242
主分类号
H01L21/314
代理机构
代理人
主权项
地址
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