DEVICE FOR CLEANING CVD DEVICE AND METHOD OF CLEANING CVD DEVICE,申请号EP20040720142-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR CLEANING CVD DEVICE AND METHOD OF CLEANING CVD DEVICE
摘要
申请公布号	EP1612856(A4)	申请公布日期	2009.01.28
申请号	EP20040720142	申请日期	2004.03.12
申请人	RESEARCH INSTITUTE OF INNOVATIVE TECHNOLOGY FOR THE EARTH;NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCEAND TECHNOLOGY	发明人	SAKAI, KATSUO;ABE, KAORU;OKURA, SEIJI;SAKAMURA, MASAJI;MURATA, HITOSHI;KAMEDA, KENJI;WANI, ETSUO;SEKIYA, AKIRA
分类号	H01L21/31;C23C16/44;C23C16/52	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
主权项
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