| 发明名称 | 软件媒介式控制架构 | ||
| 摘要 | 一种制造系统(100，300)包含工艺工具(115)、控制器媒介(350)及第一处理媒介。该工艺工具(115)配置成根据操作技术方法而处理工件(130)。该控制器媒介(350)配置成决定与该工艺工具(115)中的该工件(130)的处理相关联的控制动作。该第一处理媒介(320，340)与该工艺工具(115)及该工件(130)中的至少一个相关联，且该第一处理媒介(320，340)配置成与该控制器媒介(350)连接，接收该控制动作，并根据该控制动作而配置该操作技术方法。本发明提供了一种根据操作技术方法而控制配置成处理工件(130)的工艺工具(115)的方法。将与该工艺工具(115)及该工件(130)中的至少一个相关联的第一处理媒介(320，340)实体化。将配置成决定与该工艺工具(115)中的该工件(130)的处理相关联的控制动作的控制器媒介(350)实体化。该第一处理媒介(320，340)连接该控制器媒介(350)，以便接收该控制动作。该第一处理媒介(320，340)连接该工艺工具(115)，以便根据该控制动作而配置该操作技术方法。 | ||
| 申请公布号 | CN100449551C | 申请公布日期 | 2009.01.07 |
| 申请号 | CN02826378.2 | 申请日期 | 2002.10.31 |
| 申请人 | 先进微装置公司 | 发明人 | M·L·米勒;J·A·格罗弗;M·R·康博伊 |
| 分类号 | G06F17/50(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G06F17/50(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈泊;程伟 |
| 主权项 | 1.一种制造系统(100，300)，包含：一工艺工具(115)，该工艺工具(115)配置成根据操作技术方法而处理工件(130)；一控制器媒介(350)，该控制器媒介(350)配置成决定与该工艺工具(115)中的该工件(130)的处理相关联的控制动作；以及第一工艺媒介(320)，该第一工艺媒介(320)与该工艺工具(115)及该工件(130)中的至少一个相关联，且该第一工艺媒介(320)配置成：连接该控制器媒介(350)，接收该控制动作，并根据该控制动作而配置该操作技术方法。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||