一种局部废气处理系统及其控制方法

摘要

本发明公开一种局部废气处理系统，邻近机台设置；包括用于对机台产生的污染物进行处理的主废气处理设备和备份废气处理设备；其中，主废气处理设备包括：第一进气口，连接于机台以接收污染物；通路切换单元，其第一端连接于该第一进气口，第二端连通主废气处理设备的内部处理空间；备份排气口，连接于该通路切换单元的第三端和该备份废气处理设备；控制单元，用于根据主废气处理设备的状态来控制主废气处理设备和备份废气处理设备，并且控制该通路切换单元以选择性地使该第一进气口连通主废气处理设备的内部处理空间或者通过备份排气口连通备份废气处理设备；气体排放通道，用于排放经处理后的气体。本发明还公开一种局部废气处理系统的控制方法。

主权项

1.一种局部废气处理系统，邻近机台设置；其特征在于，包括：用于对相应机台产生的污染物进行处理的主废气处理设备和备份废气处理设备；其中，所述主废气处理设备包括：第一进气口，连接于机台以接收污染物；通路切换单元，其第一端连接于该第一进气口，第二端连通主废气处理设备的内部处理空间；备份排气口，连接于该通路切换单元的第三端和该备份废气处理设备；控制单元，用于根据主废气处理设备的状态来控制主废气处理设备和备份废气处理设备，并且控制该通路切换单元以选择性地使该第一进气口连通主废气处理设备的内部处理空间或者通过备份排气口连通备份废气处理设备；气体排放通道，用于排放经处理后的气体。